簡(jiǎn)要描述:Diener 等離子表面處理儀 ATTO特點(diǎn)· 低壓等離子系統(tǒng),用于不同材料表面的處理· 配置自動(dòng)/手動(dòng)模式,實(shí)現(xiàn)控制高機(jī)能· 10.5L腔體可處理多種樣品· 適合于研究院、高校、研發(fā)中心使用· 8" Wafer去膠清洗
產(chǎn)品目錄
品牌 | 其他品牌 | 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,生物產(chǎn)業(yè),農(nóng)業(yè) |
Diener 等離子表面處理儀 ATTO
· 低壓等離子系統(tǒng),用于不同材料表面的處理
· 配置自動(dòng)/手動(dòng)模式,實(shí)現(xiàn)控制高機(jī)能
· 10.5L腔體可處理多種樣品
· 適合于研究院、高校、研發(fā)中心使用
· 8” Wafer去膠清洗
型號(hào) | ATTO | ATTO PCCE | |
控制系統(tǒng) | 手動(dòng)控制 | PCCE 控制系統(tǒng) | |
工藝氣路 | 雙路氣體 | ||
工藝氣體 | O2,Ar,N2,CO2,H2,Air等 | ||
單體導(dǎo)入 | H2O等單體(選配) | ||
流量計(jì) | 針閥流量計(jì) | MFC流量計(jì) | |
真空 腔體 | 材質(zhì) | 高硼硅玻璃腔體,蓋子門(mén)帶觀察窗(石英,鉸鏈門(mén)選配) | |
內(nèi)尺寸(Dia.×D) | 211×300mm | ||
容積 | 10.5L | ||
電極 | 360度外置環(huán)繞電極 | ||
發(fā)生器*
| 40KHz 0~200 W 13.56MHz 0~50 W 13.56MHz 0~300 W | ||
真空壓力計(jì) | 指針式壓力計(jì)(選購(gòu)) | 皮拉尼數(shù)字式壓力計(jì) | |
計(jì)時(shí)器 | 旋鈕式(選購(gòu)) | 數(shù)字式 | |
托盤(pán) | 高硼硅玻璃(石英選配)W200xD260xH5mm | ||
外形尺寸(WXDxH)mm | 525x450xD450 | ||
電源 | AC220V 50Hz 10A | ||
真空泵 | 排氣速度8m3/H |
上海爾迪儀器科技有限公司是一家代理經(jīng)銷國(guó)內(nèi)外儀器的專業(yè)公司。秉承“銷售*儀器、提供優(yōu)質(zhì)服務(wù)”的宗旨,在制藥、化工、環(huán)保、科研、大學(xué)、醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域開(kāi)拓了廣泛的市場(chǎng),并贏得了廣大用戶的支持和信賴。爾迪在今后的發(fā)展中,將貫徹誠(chéng)信、服務(wù)、務(wù)實(shí)、創(chuàng)新的經(jīng)營(yíng)理念,一如既往地把國(guó)內(nèi)外優(yōu)秀的儀器設(shè)備介紹并提供給國(guó)內(nèi)的用戶。孜孜追求,不懈努力,不斷提高服務(wù)水平,為提升用戶的檢測(cè)水平和科研水平貢獻(xiàn)各自的綿薄之力,與廣大用戶共同享受科技成果,在互利協(xié)作中共同進(jìn)步。
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