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Diener 等離子表面處理儀 FEMTO

簡要描述:Diener 等離子表面處理儀 FEMTO特點:
· 低壓等離子系統(tǒng),用于不同材料表面的處理

· 配置自動/手動模式,實現(xiàn)控制高機能

· 經(jīng)濟型等離子清洗機,小型腔體

· 適合于研究院、高校、研發(fā)中心使用

· 操作簡單易使用

  • 所在城市:上海市
  • 廠商性質:經(jīng)銷商
  • 更新日期:2024-11-26
  • 訪  問  量:1565
詳細介紹
品牌其他品牌產(chǎn)地類別國產(chǎn)
應用領域醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,生物產(chǎn)業(yè),農(nóng)業(yè)

Diener 等離子表面處理儀 FEMTO

特點:

· 低壓等離子系統(tǒng),用于不同材料表面的處理

· 配置自動/手動模式,實現(xiàn)控制高機能

· 經(jīng)濟型等離子清洗機,小型腔體

· 適合于研究院、高校、研發(fā)中心使用

· 操作簡單易使用

 

 

Diener 等離子表面處理儀 FEMTO技術參數(shù):

型號

FEMTO

FEMTO PCCE

控制系統(tǒng)

手動控制

PCCE 控制系統(tǒng)

工藝氣路

雙路或三路氣體

工藝氣體

O2Ar,N2,CO2,H2Air等非腐蝕性氣體或者CF4 、SF6等腐蝕性氣體

單體導入

H2O,親疏水涂層等單體(選配)

流量計

針閥流量計(防腐蝕)

MFC流量計(防腐蝕)

真空

腔體

材質

高硼硅玻璃/石英

蓋子門/鉸鏈門帶觀察窗

不銹鋼

蓋子門/鉸鏈門帶觀察窗

鋁合金

鉸鏈門帶觀察窗

圓形腔體內尺寸(Φ×D)mm

95×280( 600)

100×278( 600)

方形腔體 內尺寸 W×D×Hmm

103×285( 600)×103 mm

110×300( 600) ×120

容積

2 L~4.2L

2.2L~6.4L

4L~8L

電極

360度外置環(huán)繞電極

平行平板電極

發(fā)生器*

 

40KHz     0~100 W

100KHz    0-500W

13.56MHz  0~50 W 或者0~300 W

2.45GHz   0-300W

真空壓力計

指針式壓力計

皮拉尼數(shù)字式壓力計

計時器

模擬數(shù)字式

數(shù)字式

托盤

高硼硅玻璃/石英,不銹鋼

外形尺寸(WXDxHmm

310-560x420-600x330-860mm

電源

AC220V 50Hz 10A

真空泵

排氣速度不小于4m3/H

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