布魯克bruker輪廓儀利用*的直接驅動掃描樣品臺,將測量時間加快40%,同時保持行業(yè)的性能。Vision64是布魯克的64位并行處理操作和分析軟件,能夠更快地加載3D形貌文件,并更快地應用篩選器和多區(qū)域數(shù)據庫分析。
單拱門結構設計使布魯克bruker輪廓儀更堅固,從而將環(huán)境噪音的影響降至低。DektakXT升級的"智能電子設備"可降低溫度變化的影響,并采用現(xiàn)代處理器,大限度地減少噪聲水平,使其成為能夠測量<10nm臺階高度的更強大的系統(tǒng)。
布魯克的Vision64軟件通過提供直觀、簡化的用戶可視化界面,加入到DektakXT的創(chuàng)新設計。智能架構和可自定義自動化功能相結合,可實現(xiàn)快速、全面的數(shù)據收集和分析。無論您是使用分析腳本對單個掃描結果進行分析,還是應用自定義篩選器設置和計算,DektakXT的數(shù)據分析器都能顯示當前分析結果,同時顯示其他可能的分析工具。
測量部分包括檢測器、驅動部、測量臺立柱、測量臺基座、除振臺、架臺等。
⑴測量臺基架:用來安裝需要測量的工件。
⑵測量臺柱桿:使探針上下移動。
⑶柱桿手動旋鈕:手動使探針上下移動。
⑷測量面板:用于操作測量部分。
⑸驅動部分:將探針沿著測量方向驅動的裝置。
⑹驅動方向指示燈:驅動方向側指示燈亮燈。
⑺驅動部分手動旋鈕:用手動方法進行傳感器的左右移動。
⑻驅動部分手動旋鈕切換開關:按下此開關,便可切換驅動部分的手動旋鈕的有效、無效。
⑼檢測器:用來獲取Z軸形狀數(shù)據。
⑽探針桿:用來安裝探針。
⑾探針:用來探測工件表面。
⑿測量力調整配重:為了調整測量力大小的配重。
⒀測量力微調緊固螺釘:用于調整測量力調整平衡塊的平衡螺釘。
操作使用步驟:
①將測量力調整配重的對刻度面與本體針桿的刻度中央位置對齊。
②使平衡塊向左右方向移動,將觸針懸臂調整至平衡(向前移動4小格),在此狀態(tài)下測量力為零,此時觀察Z值接近于零即可,一般不可能達到絕對零。
③向下方向測量時,請將測量力調整配重向左移動一個刻度,測量力將變成10毫牛。
④向上方向測量時,請將測量力調整配重向右移動一個刻度,測量力將變成10毫牛。
注:1.通常的測量以10毫牛的測量力進行。
2.標準針桿和長度不同的針桿,其測量力與刻度都不同